2つの独立制御可能な回転アームを備えた5軸半導体ウェーハ搬送ロボット。EFEMから2 FOUPから3 FOUPへのウェーハピックアップをサポート可能。高精度かつ高剛性のロボットです。

XIVIの真空マニピュレーターは、より高い位置決め精度のためにフルリンクアーム機構を採用。フルクローズドループ制御を採用し、真空ダイレクトドライブモーターを装備しており、より高い回転精度と高速応答を実現しています。

大気圧ウェーハ搬送ロボット（以下「ロボット」）は、大気圧クリーンルーム環境での使用に適しており、...で構成されています。

ABXY-ZT4シリーズステージは、6自由度を持つエアベアリング機械式モーションステージです。バックチャネル露光装置やウェーハ検査、スライシング、アニーリングなど、半導体業界の厳しい設計要求に特化して設計されています。

このプラットフォームは厳格な高真空基準で設計・製造されており、5x10 Paまでの真空環境下で安定かつ信頼性の高い動作を維持し、高精度な実験や生産の確固たる基盤を提供します。

VMZTシリーズステージは4自由度を持つ機械式モーションステージです。バックチャネル露光装置やウェーハ検査に関連する半導体業界の厳しい設計要求に対応しています。