VMZT

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VMZT

VMZTシリーズは、リソグラフィ関連プロセスやウェハ検査を含む半導体後工程の要求の厳しい用途向けに設計された4自由度モーションプラットフォームです。

VMZT

説明1

ジッパークロージャー　メンズ用1/4ジップアスレチックプルオーバー。伸縮性があり、軽量で速乾性のある生地を使用し、優れたパフォーマンスを実現。レギュラーフィット - 米国標準サイズ。幅広い動きを可能にする体にフィットしたアスレチックフィットで、最適なパフォーマンスと一日中の快適さを追求。特徴 - クォータージップクロージャー；長袖にはサムホール付きで、運動中も袖がずれにくい設計。

特徴

· X軸およびY軸には高剛性・高精度のリニアガイドを採用しており、動作中にミクロンレベルの平坦性と直線性を実現します。

· コンパクトで低プロファイルな設計の統合ZT軸は、360度のサポートを提供します ° 連続回転。

· Z軸の設計は変更せずに済みます .

仕様

仕様
移動範囲	スキャン軸	400mm、550mm
	ステップ軸	400mm、550mm
	Z 軸	4mm
	Rz	±10°
駆動システム	リニアブラシレスモーター
分解能	1 nm
精度	< ± 2 μm
繰り返し精度	< ± 0.5 μm
XYZ位置安定性	± 0.1 μm
花崗岩ベース厚さ	250 mm
定格ペイロード（動的仕様維持）	5 kg
定格ペイロード時の最大速度	スキャンステップ軸		700 mm/s
定格ペイロード時のピーク加速度	スキャンステップ軸		0.7 G
剛性、定格ペイロード時の第1固有振動数			> 100 Hz
ピッチ / ヨー	X軸		< ±3 秒角
	Y軸		< ±4 秒角
直線度 / 平面度	X軸		< ±2 μm
	Y軸		< ±2 μm
	Z軸		< ±1.5 μm
XY直交度	< 2 μm
速度リップル（100 mmでサンプリング） / s)	0.25%
作業面 - 取付面の平行度	< 5 μm
MTBF	40,000時間