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ZTR-ロボット

ウェーハ真空搬送システムにおいて、XIVI’の真空ウェーハハンドリングロボットは、完全連動アーム機構を採用し、高い位置決め精度を実現しています。全閉ループサーボ制御と真空ダイレクトドライブモーター（DDM）により、優れた回転精度と高速な動的応答を提供します。双方向のデュアルアーム構成は、プロセスチャンバのフットプリントを増やすことなくリーチを拡大し、マルチステーションのウェーハハンドリングで高いスループットを可能にします。

検証された精度と再現性が求められる高真空ウェーハ搬送用途において、XIVI’の真空ウェーハハンドリングロボットは、高い位置決め再現性と非常に信頼性の高い真空分離性能を提供します。

ZTR-ロボット

説明1

ジッパークロージャー　メンズ用1/4ジップアスレチックプルオーバー。伸縮性があり、軽量で速乾性のある生地を使用し、優れたパフォーマンスを実現。レギュラーフィット - 米国標準サイズ。幅広い動きを可能にする体にフィットしたアスレチックフィットで、最適なパフォーマンスと一日中の快適さを追求。特徴 - クォータージップクロージャー；長袖にはサムホール付きで、運動中も袖がずれにくい設計。

仕様

仕様
ウェーハサイズ		6' /8' / 10' /12'
ストローク/範囲	Z軸ストローク（リフト）	70 mm / 125 mm
	T軸回転	360°連続
	R軸ストローク（伸縮）	1050 mm（エンドエフェクターに依存）
繰り返し精度	Z軸	±0.05 mm
	T軸	±0.006°
	R軸	±0.05 mm
重量		38 kg
真空対応		1 × 10⁻⁶ Pa
ヘリウム漏れ率		< 1 × 10⁻⁹ std·cc/s He
清浄度		ISOクラス1
通信		TCP/IP
オプション		AWC（ウェハ位置補正）