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優れた真空適合性:高真空基準で設計・製造されており、5 × 10⁻⁵ Paまでの安定かつ信頼性の高い動作を保証し、高精度な実験や製造の堅固な基盤を提供します。
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強力な磁気シールド:精密に設計された磁気シールド構造が効果的に
抑制します
磁気干渉を低減し、作業面での磁場を極めて低いレベルに抑え、精密加工および検査のための超低磁場環境を作り出します。
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卓越した動的性能:最適化された構造設計により軽量で機敏な動きを実現しつつ、優れた安定性を維持し、効率的で滑らかな動的性能を可能にします。
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高度な柔軟なカスタマイズ:移動範囲、寸法、インターフェースなどのカスタマイズオプションを用意しており、特定のアプリケーション要件に対応し、複雑なシステムへのシームレスな統合と真にカスタマイズされたソリューションを実現します。
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仕様
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X軸
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Y軸
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移動量
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400
mm
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400mm
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繰り返し精度
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±0.3 μm
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±0.3 μm
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最大速度
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0.35 m/s
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0.35 m/s
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最大加速度
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0.4 g
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0.4 g
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水平直線性
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±1 μm
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±2 μm
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垂直直線性
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±2 μm
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±2 μm
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ピッチ
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8 arcsec
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8 arcsec
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ロール
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8 arcsec
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8 arcsec
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最小増分
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10 nm
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10 nm
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ペイロード
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25 kg
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直交性
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< ±2 アーク秒
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環境
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真空、5 × 10⁻⁵ Pa
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磁場
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DC: 300 nT / AC: 20 nT
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清浄度
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ISOクラス6
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アウトガス放出率
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< 3 × 10⁻⁶ Pa·m³/s
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上記仕様はカスタマイズ可能です
ご購入検討の際は最新情報について営業担当までお問い合わせください。