ABXY

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ABXY

ABXY-ZT4シリーズは、6自由度の ハイブリッド エアベアリングおよび機械式モーションプラットフォームであり、バックエンド露光、ウェーハ検査、ダイシング、アニーリングの厳しい要求に対応するよう設計されています。

ABXY

説明1

ジッパークロージャー　メンズ用1/4ジップアスレチックプルオーバー。伸縮性があり、軽量で速乾性のある生地を使用し、優れたパフォーマンスを実現。レギュラーフィット - 米国標準サイズ。幅広い動きを可能にする体にフィットしたアスレチックフィットで、最適なパフォーマンスと一日中の快適さを追求。特徴 - クォータージップクロージャー；長袖にはサムホール付きで、運動中も袖がずれにくい設計。

特徴

· X/Y軸は空気軸受を使用し、滑らかで摩擦のない動きを実現

· T- 軸：レベリング用の微小回転調整

· パッシブダンピングモジュール付きのデュアルドライブステッパー駆動軸

· Z- 軸：高速で精密なフォーカス動作

仕様

仕様 ti ons
移動	スキャン軸	350mm, 500mm
	ステップ軸	350mm, 500mm
	Z 軸	5mm
	チップ/チルト軸	± 2mrad
	Rz	± 3 °
駆動システム	T 軸	リニアブラシレスモーター
解像度	R 軸	< 1 nm
精度	± 200nm
繰り返し性（リニアドライブを選択）	± 100nm ( ± 50nm オプション)
XYZ位置安定性（エアオン時）	20 nm
御影石ベース厚さ	250 mm
定格ペイロード（動的仕様維持時）	5 kg
最大ペイロード	10kg
定格ペイロード時の最大速度	スキャンステップ軸		400 mm/s
定格ペイロード時のピーク加速度	スキャンステップ軸		1 G (10m/s)
定格ペイロード時のRMS加速度	スキャンステップ軸		0.5 G (5m/s)
定格ペイロード時の剛性、第一固有振動数	> 100 Hz
ピッチ	2 アーク秒
ロール	2 アーク秒
ヨー	2 アーク秒
XY直線度	1 μm
XY平面度	1.2 μm
XY直交度	< 2 アーク秒
速度リップル（400 mm/sでサンプリング）	0.1%
MTBF	20,000 時間