STR-ロボット

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STR-ロボット

2つの独立制御された回転アームを備えた5軸半導体ウェーハハンドリングロボットです。2～3のFOUPロードポートを持つEFEMシステムでのウェーハのピックアンドプレースをサポートします。このロボットは高精度かつ高い剛性を提供します。

STR-ロボット

説明1

ジッパークロージャー　メンズ用1/4ジップアスレチックプルオーバー。伸縮性があり、軽量で速乾性のある生地を使用し、優れたパフォーマンスを実現。レギュラーフィット - 米国標準サイズ。幅広い動きを可能にする体にフィットしたアスレチックフィットで、最適なパフォーマンスと一日中の快適さを追求。特徴 - クォータージップクロージャー；長袖にはサムホール付きで、運動中も袖がずれにくい設計。

仕様

仕様
STR		シングルアーム
		440 mm
定格ペイロード		0.5 kg
R軸	速度	350 °/s
	範囲	−130° ~ +310°
θ ₁ 軸	速度	260 °/s
	範囲	±165°
θ ₂ 軸	速度	330 °/s
	範囲	±165°
Z軸	速度	550 mm/s
	範囲	480 mm
ロボット重量		76-80 kg
清浄度		クラス1
繰り返し精度		±0.05 mm
電源要件		単相AC 200V、20A

*定格ペイロードは ウェーハ の重量を指します。