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VTRロボット

大気圧ウェーハ搬送ロボット（以下「ロボット」）は、クリーンルームでの作業用に設計されており、ベース、アーム、およびオプションのウェーハエンドエフェクター（ウェーハフォーク）で構成されています。真空吸着および/またはクランプを用いてウェーハを搬送し、協調した関節運動によって駆動されます。これには、Z軸リフト、T軸回転、およびR/W軸の伸縮

VTRロボット

説明1

ジッパークロージャー　メンズ用1/4ジップアスレチックプルオーバー。伸縮性があり、軽量で速乾性のある生地を使用し、優れたパフォーマンスを実現。レギュラーフィット - 米国標準サイズ。幅広い動きを可能にする体にフィットしたアスレチックフィットで、最適なパフォーマンスと一日中の快適さを追求。特徴 - クォータージップクロージャー；長袖にはサムホール付きで、運動中も袖がずれにくい設計。

仕様

仕様
VTR		シングルアーム	デュアルアーム
		143 mm / 176 mm
定格ペイロード		0.5 kg
R/W軸	速度	430 mm/s
T軸	範囲	0° ~ 340°
T軸	角速度	250 °/s
Z軸	ストローク	250 / 300 / 350 / 400 / 450 mm
Z軸	速度	250 mm/s
ロボット重量		< 35 kg
清潔度		クラス1
繰り返し精度		±0.1 mm
電源要件		単相AC 200V、20A

*ペイロードは搬送される製品の重量です。