VXTシリーズステージは、リニアクロスローラーベアリング、リニアモーター、および非接触リニアエンコーダーで構成されています。センタードライブのアイアンレスモーションを採用しており、このシリーズはコギング効果をゼロに抑え、滑らかな速度制御を実現し、さらに操作効率を向上させます。このシリーズのプラットフォームは、優れた高速性能と高精度を備えています。
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1 nmの高解像度、75 nmの高い位置決め繰り返し精度、および250 nmの高い位置決め精度。
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高集積化されたX/Yリニアモーターナノステージ。
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長い移動範囲にわたるナノメートルレベルの性能。
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強力な安定性と精度を備えた低運動誤差。
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アンチクリープ特性。
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ダイレクトドライブ技術による高い動的性能。
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機械仕様
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VXTI-060-N
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VXTI-060-P
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VXTI-110-N
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VXTI-110-P
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VXTI-160-N
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VXTI-160-P
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ストローク
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60 mm
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60 mm
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110 mm
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110 mm
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160 mm
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160 mm
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精度
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±2 μm
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±250 nm
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±3 μm
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±300 nm
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±4 μm
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±300 nm
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分解能
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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繰り返し精度(双方向)
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±100 nm
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±75 nm
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±100 nm
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±75 nm
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±100 nm
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±75 nm
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直線度および平坦度
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±0.75 μm
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±0.75 μm
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±0.75 μm
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±0.75 μm
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±1 μm
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±1 μm
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ピッチ
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10 アーク秒
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10 アーク秒
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10 アーク秒
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10 アーク秒
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10 アーク秒
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10 アーク秒
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ヨー
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5 アーク秒
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5 アーク秒
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5 アーク秒
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5 アーク秒
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5 アーク秒
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5 アーク秒
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最大速度
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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最大加速度(無負荷時)
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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位置安定性
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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最大力(連続)
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22 N
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耐荷重
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水平
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10 kg
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側面
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10 kg
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可動質量
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1.5 kg
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1.5 kg
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2.0 kg
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2.0 kg
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2.5 kg
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2.5 kg
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ステージ質量
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2.8 kg
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2.8 kg
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3.5 kg
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3.5 kg
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4.0 kg
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4.0 kg
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材料
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アルミニウム
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平均故障間隔
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20,000hrs
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